2020

总计获得10条12寸相关产线订单

9N气体纯化器 用于8寸线

2014

SK海力士验证通过，氮、氢、氧、氩、氦、CO2等12台设备用于海力士12寸产线

2018

英特尔验证通过10000Nm3/h PH9用于英特尔12寸产线

2016

中标中芯国际NOx净化装置

2017

2019

通过中芯国际验证并购买氮、氧、氩、氦共4台纯化器用于已量产终端产线

2013

进入6寸产线

9N纯化器 开发成功

2009

8N纯化器 开发成功

2008

开发成功超纯气体用脱氧剂

2000

超纯气催化剂研发项目启动

60年代