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产品信息:

适用于O2。独家专用技术脱除原料气中的CO、H2、CO2、H2O、CH4、碳氢化合物至PPb级。


※HPC终端OB系列纯化器前端采用氧化催化剂,可将气体中微量的H2、CO、CH4、TCH等杂质转化为H2O、CO2而脱除。终端纯化采用高效吸附剂,在常温下可通过物理吸附深度脱除原料气中的H2O、CO2等杂质。


产品特点 :


◆脱除杂质深度高


◆吸附容量大, 使用时间长相比国内现有的纯化工艺,HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物,常温工作,节能环保。非消耗型纯化材料,降低成本,纯化深度高,使用寿命长。


应用领域:  

MOCVD,MBE(化合物半导体工业)、

SOI(硅晶体生长)、

LED(半导体照明)

IC(大规模集成电路)

PV(光伏太阳能)

气体净化、

光学纤维生产、

惰性气体激光器、

气相色谱仪等

光刻

零点气纯化




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