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产品信息:

适用:惰性气体N2、Ar、He。独家专用纯化技术脱除原料气中的O2、CO、H2、CO2、H2O、CH4、碳氢化合物至PPb级。


※HPC终端OM系列纯化器适用于原料气指标波动较大,杂质两级脱除,全面保证用户的材料气品质与纯化器的使用寿命。


产品特点 :


◆ 抗原料气波动能力强。多级纯化工序,

◆脱除杂质深度高


◆不释放碳氢化合物  相比国内现有的纯化工艺,HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物,常温工作,节能环保。非消耗型纯化材料,降低成本,纯化深度高,使用寿命长。

◆性价比高  HPC-M系列所用纯化材料为镍触媒催化剂,非消耗材料,可再生循环使用,成本低。初始调试后直接使用。


应用领域:  

光刻

IC(大规模集成电路)

SOI(硅半导体加工)

LED(半导体照明)

PV(光伏太阳能)

化合物半导体

零点气纯化

气体净化、

高纯度焊接




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