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产品信息:

适用于H、 Ar、He、Ne、 Kr、Xe。独家专用技术脱除原料气中的O、CO、H、N、CO、HO、CH4、碳氢化合物至PPb级。


※HPC终端OM系列纯化器采用吸气剂(GATTER)为消耗型填料,不可再生(可有限次激活)。吸气反应器设计使用寿命为2~3年,失效后整体更换。用户为减少gatter消耗,可加预处理系统。


产品特点 :


◆脱除杂质深度高


◆吸附容量大, 使用时间长相比国内现有的纯化工艺,HPC –OM型纯化技术不释放碳氢化合物,常温工作,节能环保。非消耗型纯化材料,降低成本,纯化深度高,使用寿命长。

◆可激活  HPC-M系列所用纯化材料为镍触媒催化剂,非消耗材料,可再生循环使用,成本低。初始调试后直接使用。


◆应用范围广


应用领域:  

MOCVD,MBE(化合物半导体工业)、

SOI(硅晶体生长)、

LED(半导体照明)

IC(大规模集成电路)

PV(光伏太阳能)

气体净化、

光学纤维生产、

惰性气体激光器、

气相色谱仪等

光刻

零点气纯化

高纯度焊接




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