PH7系列—氢气纯化器

指标表

典型应用

• 应用于半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
• 气体行业

工艺介绍

• PH7-H通过吸附工序，脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂等杂质，通过吸气柱脱除N₂、CH₄；
• PH7-G：气体通过高温状态下的吸气柱，可深度吸收脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂、CO、N₂等杂质。吸气柱吸附饱和后，整体更换；
• PH7-A：气体通过吸附工序，深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO等杂质。吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。