产品分类
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PH7系列—氢气纯化器

指标表

PH7

 

典型应用

  • 应用于半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
  • 气体行业

 

工艺介绍

  • PH7-H通过吸附工序,脱除气体中的O2、H2O、CO2等杂质,通过吸气柱脱除N2、CH4
  • PH7-G:气体通过高温状态下的吸气柱,可深度吸收脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO、CH4、N2等杂质。吸气柱吸附饱和后,整体更换
  • PH7-A:气体通过吸附工序,深度脱除气体中的O2、H2O、CO2、CO等杂质。吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用。