PR/PE系列—氩气、氦气纯化器

指标表

典型应用

• 应用半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
• 气体行业

工艺介绍

• PR/E-H: 通过吸附工序，脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂等杂质，通过吸气柱脱除N₂、CH₄；
• PR/E-G:气体通过高温状态下的吸气柱，可深度脱除气 体中的O₂、H₂O、CO₂、CO、H₂、CH₄、N₂等杂质吸气柱吸附饱和后,整体更换；
• PR/E-A:气体通过吸附工序,深度脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂、CO、H₂、等杂质。