PR/PE系列—氩气、氦气纯化器

指标表

典型应用

• 应用半导体、LED/激光、太阳能光伏行业
• 气体行业

工艺介绍

• PH5-H：通过吸附工序，脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂等杂质，通过吸气柱脱除N₂、CH₄；
• PH5-G：气体通过高温状态下的吸气柱，可深度脱除气体中的O₂、H₂O、CO_2、CO、H₂、CH₄、N₂等杂质，吸气柱吸附饱和后，整体更换；
• PH5-A：气体通过吸附工序，深度脱除气体中的O₂、H₂O、CO₂、CO、H₂等杂质；
• 吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用；
• 多柱交替吸附、再生、可实现对气体的连续纯化。