产品分类
PH22-XCDAPurifier

PH22—XCDA纯化器

 

纯化系列

脱除杂质ppb

气体

型号

纯化工艺

H2O

CO2

挥发性酸VA

挥发性碱VB

耐熔化合物RC

总有机碳TOC

XCDA

PH22

吸附 (Absorb)

<0.1 ppb

<10ppt

<10ppt

<10ppt

<10ppt

 

应用领域:

  • 纯化用于半导体应用的XCDA

 

工艺介绍:

采用HPC特有纯化材料,通过吸附工序,深度脱除气体中的H2O、CO2、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、总有机碳TOC等杂质。多个吸附器交替吸附、再生,实现对原料气体的连续纯化。

PH22系列独立气体纯化系统通过现场原位再生和先进的技术,以高可靠性、低成本及高性能,有效的脱除CDA中的污染杂质,满足客户现场需求