产品分类
PH21-NH3

PH21—氨气纯化器

 

纯化系列

脱除杂质ppb

气体

型号

纯化工艺

O2

H2O

CO2

NMHC

 

 

 

NH3

PH21

吸附 (Absorb)

<1 ppb

<1 ppb

<1 ppb

<1 ppb

 

 

 

 

应用领域:

  • 纯化用于半导体、LED应用的氨气

工艺介绍:

PH21氨气纯化器通过吸附工序,采用双吸附容器,深度脱除工艺气体中的O2、H2O、CO2、NMHC,纯化和再生模式交替进行,提供对工艺气的连续纯化。

PH21系列氨气纯化系统通过现场原位再生和先进的技术,以高可靠性、低成本及高性能,有效的脱除NH3中的污染杂质,满足客户现场需求