PNH—氨气纯化器
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纯化系列 |
脱除杂质ppb |
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气体 |
型号 |
纯化工艺 |
O2 |
H2O |
CO2 |
NMHC |
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NH3 |
PNH |
吸附 (Absorb) |
<1 ppb |
<1 ppb |
<1 ppb |
<1 ppb |
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应用领域：
- 纯化用于半导体、LED应用的氨气
工艺介绍：
PH21氨气纯化器通过吸附工序，采用双吸附容器，深度脱除工艺气体中的O2、H2O、CO2、NMHC，纯化和再生模式交替进行，提供对工艺气的连续纯化。
PH21系列氨气纯化系统通过现场原位再生和先进的技术，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脱除NH3中的污染杂质，满足客户现场需求
