PC/PCO系列—二氧化碳纯化器

指标表：

应用领域：

• 纯化用于半导体应用的二氧化碳

工艺介绍：

• PC：采用HPC特有纯化材料,通过吸附工序,深度脱除气体中的O₂、H₂O、H₂、CO、挥发性酸VA、挥发性碱VB、难熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质。多个吸附器交替吸附、再生,实现对原料气体的连续纯化；
• PCO：气体首先通过高温催化氧化工序,将气体中的CH₄、H₂、CO、etc.还原性杂质与O₂反应转化为H₂O和CO₂；
• 气体通过多柱吸附工序深度脱除气体中的02、H20、挥发性酸VA、挥发性碱VB、难熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质。